Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis pengaruh profitabilitas, corporate governance dan kepemilikan keluarga terhadap penghindaran pajak (tax avoidance). Penghindaran pajak (tax avoidance) merupakan variabel dependen dalam penelitian ini. Penghindaran pajak (tax avoidance) diukur dengan cash effective tax rate (CETR). Variabel independen yang diteliti antara lain profitabilitas, corporate governance, dan kepemilikan keluarga. Sampel penelitian ini adalah 54 perusahaan manufaktur yang terdaftar di Bursa Efek Indonesia pada tahun 2012 – 2014. Sampel dipilih dengan menggunakan metode purposive sampling. Analisis data dilakukan dengan uji asumsi klasik dan pengujian hipotesis dengan metode regresi linier berganda dengan menggunakan SPSS 16. Hasil dari penelitian ini menunjukkan bahwa profitabilitas dan komisaris independen berpengaruh negatif signifikan terhadap penghindaran pajak. Sedangkan komite audit, kualitas audit, kepemilikan institusional dan kepemilikan keluarga tidak berpengaruh terhadap penghindaran pajak.

Kata kunci: profitabilitas, kepemilikan keluarga, corporate governance, penghindaran pajak