Terselenggaranya Pemerintahan yang baik (good government) adalah adanya akuntabilitas publik dan peningkatan pelayanan publik, disamping transparansi, tegaknya hukum, dan peraturan. Karena itu, pengawasan yang merupakan unsur penting dalam proses menajemen Pemerintahan, memiliki peran yang sangat strategis terwujudnya akutabilits publik dalam Pemerintahan. Sebagai dampak dari Pemerintahan yang baik yaitu terbentuknya pelayanan publik yang baik pula.

Penelitian ini bertujuan untuk Menganalisis apakah Pengawasan Fungsional berpengaruh positif terhadap Kinerja Pemerintah Daerah pada Organisasi Perangkat Daerah (OPD) Kota Semarang. Menganalisis apakah Akuntabilitas Publik berpengaruh positif terhadap Kinerja Pemerintah Daerah pada Organisasi Perangkat Daerah (OPD) Kota Semarang. Menganalisis apakah Peningkatan Pelayanan Publik berpengaruh positif terhadap Kinerja Pemerintah Daerah pada Organisasi Perangkat Daerah (OPD) Kota Semarang. Metode analisis data menggunakan regresi linier berganda.

Hasil penelitian menunjukkan Pengawasan fungsional, akuntabilitas publik dan peningkatan pelayanan publik secara simultan berpengaruh terhadap peningkatan kinerja OPD Kota Semarang. Pengawasan fungsional, dan Peningkatan pelayanan publik secara parsial berpengaruh terhadap peningkatan kinerja OPD Kota Semarang. Pengaruh Pengawasan fungsional, Akuntabilitas Publik dan Pelayanan Publik terhadap peningkatan OPD Kota Semarang adalah sebesar 65,3% dan termasuk dalam kategori yang besar.

Kata Kunci : Pengawasan fungsional, akuntabulitas publik, peningkatan pelayanan publik Kinerja.