Seiring dengan keadaan sosial masyarakat yang semakin meningkat, masyarakat semakin sadar akan kualitas, maka perlu peningkatan kualitas pelayanan kesehatan yang lebih berorientasi pada kepuasan. Kunjungan pasien tahun 2013 dan 2014 di puskesmas Tayu II turun 0.40 dan 0.63 %, berkurangnya pasien mengindikasi kepuasan semakin berkurang, sehingga minat ulang juga turun, yang mempengaruhi kepuasan dan minat kunjungan ulang adalah kualitas pelayanan yaitu kualitas layanan personal dan phisik. Jenis penelitian analisis explanatory research. Populasinya pengguna jasa puskesmas Tayu 85.637 orang tahun 2014. Sampel 100 orang diperoleh dari purposive sampling. Data primer dan sekunder. Metode analisis yaitu kualitatif dan kuantitatif yang menggunakan uji validitas,reliabilitas,asumsi klasik, regeresi berganda, uji t dan koefisien determinas. Hasil penelitian menggunakan path analisis terdapat pengaruh kualitas layanan personal terhadap kepuasan dan minat kunjungan ulang, terdapat pengaruh kualitas phisik terhadap kepuasan dan minat kunjungan ulang, dan terdapat pengaruh kepuasan terhadap minat kunjungan ulang

Kata kunci : Kualitas layanan personal, kualitas layanan phisik, kepuasan , minat kunjungan ulang