Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis dan menguji pengaruh antara variabel kompetensi, kepemimpinan dan kualitas pelayanan terhadap kinerja pegawai di Kantor Kecamatan Semarang Barat Kota Semarang. Penelitian ini menggunakan purposive sampling dengan 112 orang sebagai responden. Pengumpulan data dengan cara menyebar kuesioner dan dokumentasi. Analisys data menggunakan software SPSS 22 dengan uji regresi liner berganda dan analisys jalur menunjukkan bahwa kinerja pegawai dapat di tingkatkan dengan meningkatkan kompetensi, kepemimpinan dan kualitas pelayanan. Kompetensi berpengaruh positif signifikan terhadap kualitas pelayanan dan berpengaruh positif signifikan terhadap kinerja pegawai. Sedangkan kepemimpinan berpengaruh positif signifikan terhadap kualitas pelayanan dan kinerja pegawai. Kualitas pelayanan berpengaruh positif signifikan terhadap kinerja pegawai. Jadi dalam penelitian ini kompetensi, kepemimpinan dan kualitas pelayanan berpengaruh positif signifikan terhadap kinerja pegawai.

Kata kunci : kompetensi, kepemimpinan, kualitas pelayanan dan kinerja pegawai.