Tujuan dari penelitian ini untuk mengetahui pengaruh kompetensi, pemanfaatan teknologi, pengalaman dan religiusitas terhadap Kualitas pemeriksaan pajak adapun theori yang digunakan yaitu Theory Atribusi. Sehingga variabel penelitian ini terdiri variabel inependent yaitu Kompetensi, Pemanfatan Teknologi, Pengalaman, Religiusitas yang dihubungkan dengan variabel dependent Kualitas Pemeriksaa Pajak. Populasi dalam penelitian ini adalalah pemeriksa pajak di Wilayah Kerja Kanwil 1 Jawa Tengah Sampel penelitian menggunakan kriteria yang beragama Islam saja dengan jumlah sampel 40 orang. Sedangkan teknik analisis data yang digunakan adalah analisis statistika deskriptif dan analisis data menggunakan Structural Equation Model (PLS) dengan bantuan program Smart PLS. Hasil dari penelitian ini yaitu Kompetensi tidak berpengaruh terhadap kualitas pemeriksaan pajak, Pemanfaatan teknologi berpengaruh positif terhadap kualitas pemeriksaan pajak, Pengalaman tidak berpengaruh terhadap kualitas pemeriksaan pajak, Religiusitas tidak berpengaruh terhadap kualitas pemeriksaan pajak.

Kata Kunci: Kompetensi, Pemanfaatan teknologi, Pengalaman, Religiusitas, Kualitas pemeriksaan pajak