Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis tingkat efesiensi lembaga zakat dalam mengelola dana zakat dengan metode Data Envelopment Analysis dalam periode 2013-2014.
Terdapat 4 lembaga pengelolaan zakat yang digunakan sebagai sampel yakni Dompet Dhuafa, LAZIS Sultan Agung, PKPU, BAZNAS Semarang, dalam penelitian ini dilakukan secara purposive sampling. Variabel dalam penelitan ini menggunakan pendekatan produksi. Variabel input yang digunakan meliputi biaya personalia, biaya sosialisasi, biaya operasional, dan variabel output meliputi dana terkumpul dan dana tersalurkan.
Hasil penelitian ini menunjukkan tingkat efisiensi menggunakan model CCR, terdapat tiga lembaga yang efisien yaitu Lazis Sultan Agung, PKPU dan BAZNAS Semarang dengan score 1,000 dan lembaga zakat Dompet Dhuafa menunjukkan inefisien dengan score 0,691 tahun 2013 dan 0,880 tahun 2014. Untuk tingkat efisiensi dengan menggunakan model BCC, keempat lembaga zakat menunjukan efisien dengan score 1,000. Tingkat efisiensi dengan menggunakan return to scale Lazis Sultan Agung, Baznas Semarang serta PKPU masih konsisten dengan tingkat efisiensi 1.000 sedangkan pada Dompet Dhuafa menunjukan inefisien dengan score 0,691 tahun 2013 dan 0,880 tahun 2014 dan mengalami decresing.

Kata kunci :Lembaga Zakat, Efisiensi, DEA