Supervisi kepala madrasah merupakan proses perencanaan, pelaksanaan dan evaluasi yang dilakukan oleh kepala madrasah dengan tujuan untuk meningkatkan kinerja guru dan perbaikan pengajaran. Rumusan masalah pada penelitian ini adalah bagaimana perencanaan, pelaksanaan dan evaluasi supervisi kepala madrasah dalam upaya meningkatkan kinerja guru di MTs Tanwirudh Dholam. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui bagaimana perencanaan, pelaksanaan dan evaluasi supervisi kepala madrasah dalam upaya meningkatkan kinerja guru di MTs Tanwirudh Dholam.
Penelitian ini termasuk jenis penelitian (field research) dengan pendekatan kualitatif. Adapun sumber data yang digunakan adalah data primer dan data sekunder. Metode pengumpulan data dalam penelitian ini adalah observasi, wawancara, dan dokumentasi. Analisis data menggunakan reduksi data, penyajian data, dan verifikasi data.
Hasil penelitian menunjukkan bahwa supervisi kepala MTs Tanwirudh Dholam sudah terlaksana dengan baik di dalam aspek perencanaan, pelaksanaan dan evaluasi supervisi. Tetapi disetiap aspek ada yang belum terlaksana yaitu: pada perencanaan supervisi kepala madrasah dalam penjadwalan pelaksanaan supervisi belum dilakukan secara terstruktur. Kemudian pada pelaksanaan supervisi kepala madrasah dalam memonitoring pembelajaran di tiap kelas belum dilaksanakan. Sedangkan pada evaluasi supervisi kepala madrasah ada yang belum terlaksana yaitu belum adanya penjadwalan tertulis terkait halnya rapat evaluasi dan penilaian guru.

Kata kunci : Supervisi Kepala Madrasah, Kinerja Guru.