Pesatnya pertumbuhan penduduk di perkotaan saat ini menyebabkan kebutuhan akan infrastruktur, fasilitas, industri dan permukiman disamping sempitnya lahan perkotaan yang menyebabkan ruang terbuka hijau perkotaan semakin sedikit Tidak seimbangnya luasan ruang terbuka hijau di perkotaan dengan lahan terbangun akan memberikan kesan tidak nyaman baik dari segi ekologis, sosial, ekonomi maupun arsitektural. Kota yang memberikan rasa nyaman kepada penduduknya tentunya akan meningkatkan produktivitas kota itu sendiri. Perguruan tinggi merupakan institusi yang memberikan kontribusi yang cukup besar dalam meningkatkan kualitas sumberdaya manusia di negara khususnya perkotaan. Penelitian ini dilakukan di kampus Universitas Islam Sultan Agung Semarang. Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui pengaruh ruang terbuka hijau terhadap iklim mikro. Analisis yang digunakan adalah analisis pengaruh ruang terbuka hijau terhadap unsur-unsur iklim mikro, pendekatan penelitian yang digunakan adalah pendekatan kuantitatif, dengan metode analisis menggunakan analisis statistik deskriptif berdasarkan data suhu udara, kelembaban udara dan kecepatan angin. Hasil Penelitian ini adalah luasan kanopi terluas terdapat pada zona Perpustakaan seluas 3.740 m2, sedangkan luasan kanopi terkecil terdapat pada zona Barat Auditorium seluas 0 m2.. Suhu udara terendah pada pagi hari terdapat pada zona Fakultas Hukum, yaitu 27,20C, sedangkan suhu udara tertinggi pada siang hari terdapat pada zona Utara Auditorium, yaitu sebesar 38,6 0C. Kelembaban udara tertinggi pada pagi hari terdapat pada zona Fakultas Teknik, yaitu 67,8 %. Kelembaban udara terendah pada siang hari terdapat pada zona Barat Auditorium, yaitu sebesar 32,8 %. Kecepatan angin tertinggi pada sore hari terdapat pada zona Selatan Auditorium, yaitu 1,29 m/det. Kecepatan angin terendah terdapat pada zona Fakutas Agama Islam, yaitu 0,01 m/det. Kelembaban udara pada zona Perpustakaan dengan luasan kanopi terluas adalah lebih tinggi daripada zona lainnya, sedangkan kelembaban udara pada zona Barat Auditorium dengan luasan kanopi terkecil adalah lebih rendah dari zona lainnya sehingga suhu udara pada zona yang memiliki luasan kanopi terluas lebih rendah daripada zona yang memiliki luasan kanopi rendah.

Kata-kata kunci : Ruang terbuka hijau, iklim mikro, luasan kanopi